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汉钟螺杆丝瓜视频在线播放特色

日期:2024-08-27 14:12
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摘要:
丝瓜视频在线播放浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空帮浦或是丝瓜视频在线播放浦。漢鐘精機PS系列乾式螺旋丝瓜视频在线播放浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子 (圖一),在轉子間維持微小的間隙,使得丝瓜视频在线播放浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式丝瓜视频在线播放浦由於排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的丝瓜视频在线播放浦強,加上轉子表面披覆材質的鍍膜,因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。


乾式丝瓜视频在线播放浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色


1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準


乾式螺旋丝瓜视频在线播放浦,承襲上一代丝瓜视频在线播放浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加丝瓜视频在线播放浦 (Vacuum Pump)的壽命。


2. 密封馬達性高


丝瓜视频在线播放浦亦採用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可避免製程氣體外漏的風險。


3. 微電腦控制保護周全


丝瓜视频在线播放浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供丝瓜视频在线播放浦完整的性保護,十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

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